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BROOKS質量流量型號參數： 型號 | 流量范圍 | 精度 | zui大力psig(bar) | 輸入輸出 | 電源 | SLA5800系列 | 3sccm - 2500slpm | 1%, 0.7% ±0.2%FS. | 4500 (300) | 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, | 13.5-27 Vdc, 11-25 Vdc, 14-27 Vdc | 5800S系列 | 3sccm - 2500slpm | 0.7% ±0.2%FS. | 4500 (300) | Profibus | 15-24 Vdc | 4800系列 | 50sccm - 40 slpm | +/-1%FS 或 +/-3%FS | 150 (10) | 0-5Vdc, 4-20mA, RS232 / RS485, | 15-24 Vdc | 5800E系列 | 3sccm - 1000slpm | 1%FS | 1500(100) | 0-5Vdc | +/-15 Vdc | 5800i系列 | 3sccm - 1000slpm | 1%FS | 1500(100) | 0-5Vdc 4-20mA | 15-24 Vdc | 5800EM系列 | 3sccm - 100slpm | 1%FS | 1500(100) | 0-5Vdc 4-20mA | +/-15 Vdc或 15-24 Vdc |
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